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产品简介
产品说明
应用行业:
半导体、光电光伏、太阳能
应用工艺:
Etching、Thin Film、Diffusion
设备功能:
通过高温等离子电弧裂解,配合水洗模式净化有毒有害气体。
可处理PFCs、硅化合物、可燃性气体、水溶性气体、有毒气体等。
设备特点:
高处理效率
PLC操作简便
安全连锁设计