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Local Scrubber

Local Scrubber

应用行业:半导体、光电光伏、太阳能

应用工艺:Etching、Thin Film、Diffusion


设备功能:

通过高温等离子电弧裂解,配合水洗模式净化有毒有害气体。

可处理PFCs、硅化合物、可燃性气体、水溶性气体、有毒气体等。


设备特点:

高处理效率

PLC操作简便

安全连锁设计